关于多晶硅技术的资料

lavietsuy

希望对大家有用。

orange2008

正文目录

1.  多晶硅制造方法概述 ...................................................................... 4
1.1.  多晶硅制造的主要原材料——金属硅 ........................................ 4
1.2.  多晶硅主要制造方法 ............................................................... 4
1.2.1.  物理法概述 ..................................................... 4
1.2.2.  化学法概述 ............................................. 5
1.2.3. SiCl4 法 ................................................. 5
1.2.4. SiH4 法 ...................................................... 5
1.2.5. SiH2Cl2 法 ..............................6
1.2.7. 4 种氯硅烷法制备多晶硅的技术指标对比 ........................................ 6
2.  三氯氢硅法基本原理 ............................................................... 7
2.1.  三氯氢硅法的热力学过程 .................................................. 8
2.1.1.  热力学体系中的化学反应和组分 .................................... 8
2.1.2.  平衡态组分构成的热力学计算 .............................. 8
2.2.  三氯氢硅的还原和裂解 ........................................... 10
3.  氢化系统——四氯化硅的回收利用........................................ 11
3.1.  改良西门子法流程 ......................................................... 11
3.2.  热氢化工艺 .................................................................... 12
3.3.  冷氢化工艺 ..................................................... 14
3.3.1.  冷氢化工艺分析 ............................................... 14
3.3.2.  氯氢化 .............................................................. 14
3.4.  热氢化与冷氢化的对比 .............................................. 15
4.  国内多晶硅企业现状分析 ..................................... 16
4.1.  国内多晶硅制造规模提升迅速 ............... 16
4.2.  多晶硅技术引进路径 ............................ 17
4.2.1.  俄罗斯技术 .................................... 17
4.2.2.  欧洲技术 ..................................... 17
4.2.3.  美国技术 ....................................... 18
4.3.  国内多晶硅项目 ............................ 18